一种无掩膜光刻用微透镜加工用快速定位工装

基本信息

申请号 CN201922388282.8 申请日 -
公开(公告)号 CN211348991U 公开(公告)日 2020-08-25
申请公布号 CN211348991U 申请公布日 2020-08-25
分类号 G03F7/20(2006.01)I 分类 -
发明人 张博;路海;马伟生;武鹏;刘洪涛 申请(专利权)人 新乡市百合光电有限公司
代理机构 新乡市平原智汇知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 新乡市百合光电有限公司
地址 453000河南省新乡市新乡经济开发区玉龙路西段
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种无掩膜光刻用微透镜加工用快速定位工装,包括工作台,所述工作台的上端外表面设置有内螺纹块,所述内螺纹块的内侧贯穿设置有螺纹杆,且螺纹杆与内螺纹块之间为螺纹连接,所述螺纹杆的两端处分别设置有连接头与压头,所述工作台的上端外表面靠近一侧边沿处设置有支撑结构,所述工作台的前端设置有放置结构。本实用新型所述的一种无掩膜光刻用微透镜加工用快速定位工装,通过设置有支撑结构,软垫部分相比于传统的胶接的方式,更易取下与安装,确保保护的效果,通过设置有放置结构,有利于镜片的临时存放,存放后不易滑动而使得表面被刮花,提高加工品质。