一种CWDM滤光片的制作方法
基本信息
| 申请号 | CN201910480934.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110129737A | 公开（公告）日 | 2019-08-16 |
| 申请公布号 | CN110129737A | 申请公布日 | 2019-08-16 |
| 分类号 | C23C14/24;C23C14/08;C23C14/10;G02B1/115;G02B5/28 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 许远飞;王忠德;周强;邹朋 | 申请（专利权）人 | 天通凯伟科技有限公司 |
| 代理机构 | 上海昱泽专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 孟波 |
| 地址 | 314006 浙江省嘉兴市亚太路1号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种CWDM滤光片的制作方法，基底为蓝宝石；CWDM滤光片的制作方法包括如下步骤：S1、将蓝宝石基板进行第一次超声波清洗，清洗后进入镀膜腔室；S2、镀制主要膜系面；S3、出炉检测产品性能指标是否达标，如果符合进入S4，如果不符合则退镀并重新依次进入S1和S2；S4、经S3检测合格的产品进行第二次超声波清洗；S5、镀制另一面的增透膜，即可。本发明的CWDM滤光片的制作方法工艺简单，降低了成产成本，制备产品尺寸降低，产品的抗温飘能力强，在不用恶劣工作条件下仍能正常工作。 |
