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一种探针卡承载用调平平台

基本信息

申请号 CN202210199701.7 申请日 -
公开（公告）号 CN114563603A 公开（公告）日 2022-05-31
申请公布号 CN114563603A 申请公布日 2022-05-31
分类号 G01R1/067（2006.01）I;G01R31/28（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 陈亮;刘世文;瞿高峰 申请（专利权）人 深圳市森美协尔科技有限公司
代理机构 北京维正专利代理有限公司 代理人 -
地址 518101广东省深圳市宝安区西乡街道恒丰工业城C1栋301
法律状态 -

摘要

摘要 本申请公开了一种探针卡承载用调平平台，包括底座、用于防止探针卡的测量台、用于驱动所述测量台靠近或远离所述底座的驱动机构和至少三个用于调平所述测量台的调平装置，多个所述调平装置与所述测量台的中心位置距离相等，所述调平装置位于所述测量台与所述底座之间，所述调平装置包括固定座、调平球和用于与所述测量台和所述调平球连接的连接组件；所述固定座安装在所述底座上方，所述固定座开设有调平槽，所述调平槽沿靠近所述测量台中心位置水平延伸，所述调平球滑移安装在所述固定座位于所述调平槽内，以使所述测量台调平。本申请具有降低检测探针卡性能出现误差的效果。