一种晶圆测试用电磁屏蔽箱
基本信息
| 申请号 | CN202123448898.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN216747829U | 公开（公告）日 | 2022-06-14 |
| 申请公布号 | CN216747829U | 申请公布日 | 2022-06-14 |
| 分类号 | G01R1/18（2006.01）I;G01R31/28（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 刘世文;欧晓永;陈亮 | 申请（专利权）人 | 深圳市森美协尔科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京维正专利代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 518101广东省深圳市宝安区西乡街道恒丰工业城C1栋301 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及一种晶圆测试用电磁屏蔽箱，包括经过导电处理的箱体、载晶盘以及驱动机构，箱体具有容置腔，容置腔的上侧内壁设置有连通孔，连通孔供探针穿入容置腔内；箱体的其中一侧外壁设置有与容置腔相连通的上料窗口，上料窗口处设置有启闭门；载晶盘水平活动设置在容置腔内；驱动机构设置在容置腔内，驱动机构用于使载晶盘做水平运动。本申请具有在晶圆进行测试时能减少外部环境对晶圆的干扰的效果。 |
