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承片台升降机构及包括其的探针台

基本信息

申请号 CN202121523464.2 申请日 -
公开（公告）号 CN215848082U 公开（公告）日 2022-02-18
申请公布号 CN215848082U 申请公布日 2022-02-18
分类号 B25H1/16（2006.01）I;H01L21/687（2006.01）I 分类 手动工具；轻便机动工具；手动器械的手柄；车间设备；机械手;
发明人 陈亮;刘艺 申请（专利权）人 深圳市森美协尔科技有限公司
代理机构 北京汉迪律师事务所 代理人 宁菁
地址 518000广东省深圳市宝安区西乡街道恒丰工业城C1栋301
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种承片台升降机构及包括其的探针台，包括U型底座、设置在所述U型底座上的升降驱动组件，被所述升降驱动组件驱动上下升降的承片台安装座，设置在所述承片台安装座上的承片台，所述承片台包括卡盘，晶圆设置在所述卡盘内，还包括：加热或制冷组件，于晶圆的下方设置在所述卡盘内，对晶圆进行加热或制冷；散热块，设置在所述承片台和所述承片台安装座之间，其内设置有气道；风机，设置在承片台一侧，通过连接管连通所述气道，将所述加热或制冷组件产生的传到所述散热块上的热量或冷气吹走，以免对将热量或冷气传递到承片台安装座上，进而影响到升降驱动组件的Z轴重复定位精度。