一种半自动晶圆测试设备
基本信息
| 申请号 | CN202111678658.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114355139A | 公开（公告）日 | 2022-04-15 |
| 申请公布号 | CN114355139A | 申请公布日 | 2022-04-15 |
| 分类号 | G01R31/26（2014.01）I;H01L21/66（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 刘世文;欧晓永;陈亮 | 申请（专利权）人 | 深圳市森美协尔科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京维正专利代理有限公司 | 代理人 | 齐记;俞振明 |
| 地址 | 518101广东省深圳市宝安区西乡街道恒丰工业城C1栋301 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及一种半自动晶圆测试设备，包括机架，机架具有基准检测位；载晶盘，活动设置在机架上，载晶盘供晶圆固定放置；探针，设置在机架上，探针远离机架一端延伸至基准检测位处；显微镜平台，设置在机架上，显微镜平台位于载晶盘的上方；第一驱动机构，设置在机架上，第一驱动机构用于使载晶盘做水平运动以让晶圆上的待测试pad点运动至基准检测位处。本申请具有使晶圆的测试操作更加简单的效果。 |
