一种电磁屏蔽八角盒
基本信息
申请号 | CN202123451810.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN216671566U | 公开(公告)日 | 2022-06-03 |
申请公布号 | CN216671566U | 申请公布日 | 2022-06-03 |
分类号 | H01L21/66(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 刘世文;欧晓永;陈亮 | 申请(专利权)人 | 深圳市森美协尔科技有限公司 |
代理机构 | 北京维正专利代理有限公司 | 代理人 | - |
地址 | 518101广东省深圳市宝安区西乡街道恒丰工业城C1栋301 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本申请涉及一种电磁屏蔽八角盒,设置在基板上,基板设置有与晶圆所在空间相连通的观测孔;包括侧板、盖板、第一密封件以及第二密封件,侧板与基板连接,侧板呈环状,侧板的内侧与观测孔相连通;侧板设置有供探针穿入的第一穿孔,在探针穿入第一穿孔时,第一密封件用于封闭第一穿孔;盖板连接在侧板远离基板的一端上,盖板设置有供镜头穿入的第二穿孔,在镜头穿入第二穿孔时,第二密封件用于封闭第二穿孔。本申请具有能提升晶圆测试的准确性的效果。 |
