一种电磁屏蔽八角盒

基本信息

申请号 CN202123451810.3 申请日 -
公开(公告)号 CN216671566U 公开(公告)日 2022-06-03
申请公布号 CN216671566U 申请公布日 2022-06-03
分类号 H01L21/66(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 刘世文;欧晓永;陈亮 申请(专利权)人 深圳市森美协尔科技有限公司
代理机构 北京维正专利代理有限公司 代理人 -
地址 518101广东省深圳市宝安区西乡街道恒丰工业城C1栋301
法律状态 -

摘要

摘要 本申请涉及一种电磁屏蔽八角盒,设置在基板上,基板设置有与晶圆所在空间相连通的观测孔;包括侧板、盖板、第一密封件以及第二密封件,侧板与基板连接,侧板呈环状,侧板的内侧与观测孔相连通;侧板设置有供探针穿入的第一穿孔,在探针穿入第一穿孔时,第一密封件用于封闭第一穿孔;盖板连接在侧板远离基板的一端上,盖板设置有供镜头穿入的第二穿孔,在镜头穿入第二穿孔时,第二密封件用于封闭第二穿孔。本申请具有能提升晶圆测试的准确性的效果。