转台微调机构及包括该机构的探针台
基本信息
| 申请号 | CN202121523475.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215525889U | 公开（公告）日 | 2022-01-14 |
| 申请公布号 | CN215525889U | 申请公布日 | 2022-01-14 |
| 分类号 | G01R1/04（2006.01）I;G01R1/073（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 刘艺;陈亮 | 申请（专利权）人 | 深圳市森美协尔科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京汉迪律师事务所 | 代理人 | 宁菁 |
| 地址 | 518000广东省深圳市宝安区西乡街道恒丰工业城C1栋301 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种转台微调机构，与转台相连并驱动其转动一定角度，其包括：直线驱动组件、与所述直线驱动组件相连的旋转组件，所述旋转组件与所述转台相连；所述直线驱动组件，包括直线驱动器和连接板，所述直线驱动器驱动所述连接板直线运动；所述旋转组件，包括竖直设置在所述连接板上的旋转轴，设置在所述旋转轴上并绕其旋转的旋转块，所述旋转块与所述转台活动铰接；还提供一种探针台，通过直线驱动组件驱动旋转块在水平面内转动，旋转块与转台活动铰接，从而带着转台转动，驱动平缓，不会像凸轮机构出现运动冲击，致使转台上的晶圆所有预测试位置不能与其上方的探针卡上的探针一一对应，该微调机构运动平缓，操作稳定安全。 |
