一种应用于光学玻璃基板的清洗液及制备方法

基本信息

申请号 CN201910617430.0 申请日 -
公开(公告)号 CN110387292A 公开(公告)日 2019-10-29
申请公布号 CN110387292A 申请公布日 2019-10-29
分类号 C11D1/66(2006.01)I; C11D3/04(2006.01)I; C11D3/10(2006.01)I; C11D3/08(2006.01)I; C11D3/60(2006.01)I; C11D11/00(2006.01)I 分类 动物或植物油、脂、脂肪物质或蜡;由此制取的脂肪酸;洗涤剂;蜡烛;
发明人 刘江华; 徐昌海 申请(专利权)人 苏州芯显微电子有限公司
代理机构 苏州瑞光知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 唐露
地址 215800 江苏省苏州市吴中区甪直镇海藏西路2058号1幢
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种应用于光学玻璃基板的清洗液,其包括以下重量百分比的组分:无机碱性物质3‑20%;钾盐1‑4%;非离子表面活性剂0.01‑0.05%;余量为去离子水;其中,上述的去离子水为通过RO反渗透的方法制取,除去了呈离子形式杂质后的纯水,在光电行业和半导体行业也称为“超纯水”和“高纯水”。本发明提供了一种应用于光学玻璃基板的清洗液的制备方法。本发明的积极效果在于:能非常有效的去除光学玻璃基板上残留的手指纹,脏污和细小颗粒,同时不腐蚀光学玻璃基板本身;同时,该清洗液对使用环境的温度和设备无高要求,操作简单方便,安全环保。