一种激光SE电池的制备方法

基本信息

申请号 CN201610756795.8 申请日 -
公开(公告)号 CN106252462B 公开(公告)日 2017-08-11
申请公布号 CN106252462B 申请公布日 2017-08-11
分类号 H01L31/18 分类 基本电气元件;
发明人 励小伟;梁海;赖儒丹;周涛铭;胡巧;张小明 申请(专利权)人 宁波乐丰新能源有限公司
代理机构 宁波市鄞州甬致专利代理事务所(普通合伙) 代理人 代忠炯
地址 315700 浙江省宁波市象山县泗洲头镇工业园区
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种激光SE电池的制备方法,它包括以下步骤:1)用金刚线切割硅片;2)制绒;3)利用激光打点的方式在硅片制绒表面均匀地进行打盲孔处理;4)涂抹磷墨在打过盲孔的硅片表面上;5)置于扩散炉,300~500℃通入POCl3混合物2~3min;6)冷却,取出硅片,涂抹有机溶剂,对硅片表面进行激光扫描;7)刻蚀;8)在刻蚀后的硅片表面镀减反射膜、丝网印刷,完成正面栅线和背面铝背场的烧结。采用激光打点后扩散炉扩散、涂抹有机溶剂激光扫描制备的激光SE电池转换效率高,反射率低,性能最佳。