一种激光SE电池的制备方法
基本信息
申请号 | CN201610756795.8 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN106252462B | 公开(公告)日 | 2017-08-11 |
申请公布号 | CN106252462B | 申请公布日 | 2017-08-11 |
分类号 | H01L31/18 | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 励小伟;梁海;赖儒丹;周涛铭;胡巧;张小明 | 申请(专利权)人 | 宁波乐丰新能源有限公司 |
代理机构 | 宁波市鄞州甬致专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 代忠炯 |
地址 | 315700 浙江省宁波市象山县泗洲头镇工业园区 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供了一种激光SE电池的制备方法,它包括以下步骤:1)用金刚线切割硅片;2)制绒;3)利用激光打点的方式在硅片制绒表面均匀地进行打盲孔处理;4)涂抹磷墨在打过盲孔的硅片表面上;5)置于扩散炉,300~500℃通入POCl3混合物2~3min;6)冷却,取出硅片,涂抹有机溶剂,对硅片表面进行激光扫描;7)刻蚀;8)在刻蚀后的硅片表面镀减反射膜、丝网印刷,完成正面栅线和背面铝背场的烧结。采用激光打点后扩散炉扩散、涂抹有机溶剂激光扫描制备的激光SE电池转换效率高,反射率低,性能最佳。 |
