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一种N型单晶双面电池的制备方法

基本信息

申请号	CN201610759745.5	申请日	-
公开（公告）号	CN106299027B	公开（公告）日	2017-12-01
申请公布号	CN106299027B	申请公布日	2017-12-01
分类号	H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0236(2006.01)I	分类	基本电气元件;
发明人	励小伟;梁海;赖儒丹;周涛铭;胡巧;张小明	申请（专利权）人	宁波乐丰新能源有限公司
代理机构	宁波市鄞州甬致专利代理事务所（普通合伙）	代理人	沈锡倍
地址	315700 浙江省宁波市象山县泗洲头镇工业园区
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种成片率高且光电转换效率好的N型单晶双面电池的制备方法，包括如下步骤：硅片正面制绒后进行B扩散，正面制绒具体为：先用激光在硅片正面形成金字塔结构，氮气清洁干净后，加热硅片到70°~80°，利用超声波雾化在硅片正面沉积NaOH小液滴，经过2~4分钟腐蚀后形成金字塔绒面结构；进行湿法蚀刻，去除硅片背面、边缘形成的自扩散层，然后沉积SiN_X掩膜；对硅片背面进行P扩散后，等离子蚀刻边缘的自扩散层，并用腐蚀液进行清洗，去除表面SiN_X掩膜层和磷硅玻璃层；利用ALD方式形成硅片正面Al₂O₃钝化膜，并在硅片正面沉积SiN_X保护膜、在硅片背面沉积SiN_X减反膜；在丝网印刷形成电极进行烧结。