单晶硅太阳能电池的制备方法

基本信息

申请号 CN201510515015.6 申请日 -
公开(公告)号 CN105154983B 公开(公告)日 2017-09-12
申请公布号 CN105154983B 申请公布日 2017-09-12
分类号 H01L31/0236(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 何云海 申请(专利权)人 宁波乐丰新能源有限公司
代理机构 宁波市鄞州甬致专利代理事务所(普通合伙) 代理人 代忠炯
地址 315700 浙江省宁波市象山县泗洲头镇工业园区
法律状态 -

摘要

摘要 一种单晶硅太阳能电池的制备方法,首先在制绒槽内配置制绒水溶液,然后将单晶硅片加入到上述的制绒水溶液中,停留1000‑1200S单晶硅片取出、清洗干净然后置于扩散炉内的石英舟内,采用三氯氧磷液态源作为扩散源,在800‑950℃下通过氮气带动三氯氧磷进入石英周中与硅片反应,制备PN结;进行边缘刻蚀;镀反射膜,刻蚀完成后进行丝网印刷制备成单晶硅太阳能电池。本发明具有绒面均匀、膜色和膜厚均匀、反射率低的优点。