单晶硅太阳能电池的制备方法
基本信息
申请号 | CN201510515015.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN105154983B | 公开(公告)日 | 2017-09-12 |
申请公布号 | CN105154983B | 申请公布日 | 2017-09-12 |
分类号 | H01L31/0236(2006.01)I | 分类 | 基本电气元件; |
发明人 | 何云海 | 申请(专利权)人 | 宁波乐丰新能源有限公司 |
代理机构 | 宁波市鄞州甬致专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 代忠炯 |
地址 | 315700 浙江省宁波市象山县泗洲头镇工业园区 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 一种单晶硅太阳能电池的制备方法,首先在制绒槽内配置制绒水溶液,然后将单晶硅片加入到上述的制绒水溶液中,停留1000‑1200S单晶硅片取出、清洗干净然后置于扩散炉内的石英舟内,采用三氯氧磷液态源作为扩散源,在800‑950℃下通过氮气带动三氯氧磷进入石英周中与硅片反应,制备PN结;进行边缘刻蚀;镀反射膜,刻蚀完成后进行丝网印刷制备成单晶硅太阳能电池。本发明具有绒面均匀、膜色和膜厚均匀、反射率低的优点。 |
