一种含有改性聚氨酯和光固化单体的干膜光阻剂
基本信息
| 申请号 | CN201711308809.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108255014B | 公开（公告）日 | 2019-07-02 |
| 申请公布号 | CN108255014B | 申请公布日 | 2019-07-02 |
| 分类号 | G03F7/004（2006.01）I; G03F7/033（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 杜永杰; 杨卫国; 高代兵 | 申请（专利权）人 | 珠海市能动科技光学产业有限公司 |
| 代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 珠海市能动科技光学产业有限公司 |
| 地址 | 519050 广东省珠海市金湾区南水镇化联四路15号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种含有改性聚氨酯和光固化单体的光膜光阻剂，包括以下重量份数的组分：含有羧基的高分子粘合剂40‑70份，自由基光引发剂1‑10份，光聚合单体20‑50份，热聚合抑制剂0.005‑0.02份，改性聚氨酯1‑21份，紫外光吸收剂0.001‑0.1份和特殊官能团光固化单体1‑10份。本发明将聚氨酯添加于干膜光阻剂中，提高干膜光阻剂的强度和韧性；采用邻苯二甲酸改性特殊官能团光固化单体，提高了光阻剂对铜面的附着力，减少显影时干膜光阻剂中小分子的析出，可以不使用增塑剂；本发明的干膜光阻剂柔性好、具有优异的解析度和附着力。 |
