一种光致抗蚀剂
基本信息
申请号 | CN202011382480.4 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN112578633A | 公开(公告)日 | 2021-03-30 |
申请公布号 | CN112578633A | 申请公布日 | 2021-03-30 |
分类号 | G03F7/004(2006.01)I;G03F7/027(2006.01)I | 分类 | 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕; |
发明人 | 杜永杰;彭威;杨卫国;邓晓明 | 申请(专利权)人 | 珠海市能动科技光学产业有限公司 |
代理机构 | 佛山帮专知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 颜春艳 |
地址 | 519050广东省珠海市金湾区南水镇化联四路15号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供了一种光致抗蚀剂,用于PCB、FPC、HDI板、铝箔和复合金属板材的线路制作。尤其是光致抗蚀剂中含有1~20重量份的聚合物组分(A),该聚合物组分(A)为聚碳酸酯(A0)、聚碳酸酯丙烯酸酯(A1)、聚碳酸酯甲基丙烯酸酯(A2)中的至少一种;还包括40~70重量份的线性含羧基(甲基)丙烯酸酯粘合剂(B),0.01~3.0份的流平剂(C),5~20重量份的乙烯基丙烯酸酯类光固化单体(D),0.5~2.0重量份自由基引发剂(E)和0.01~2.0份的染料(F)。本发明在满足光致抗蚀剂基本性能的前提下,可以降低光致抗蚀剂层的厚度。 |
