一种干膜光阻剂
基本信息
申请号 | CN201910478607.3 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN110196531A | 公开(公告)日 | 2019-09-03 |
申请公布号 | CN110196531A | 申请公布日 | 2019-09-03 |
分类号 | G03F7/004;G03F7/033 | 分类 | 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕; |
发明人 | 杜永杰 | 申请(专利权)人 | 珠海市能动科技光学产业有限公司 |
代理机构 | 佛山帮专知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 颜德昊 |
地址 | 519050 广东省珠海市金湾区南水镇化联四路15号 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本发明提供了一种干膜光阻剂,其包含以下组分:高分子粘合剂A,活性单体B,自由基引发剂C1,阳离子引发剂C2,热聚合抑制剂,紫外光吸收剂,以及增塑剂;该活性单体B至少包含活性单体B1、B2和B3;活性单体B1的结构式为: |
