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一种干膜光阻剂

基本信息

申请号 CN201910478607.3 申请日 -
公开（公告）号 CN110196531B 公开（公告）日 2020-12-11
申请公布号 CN110196531B 申请公布日 2020-12-11
分类号 G03F7/004;G03F7/033 分类 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕;
发明人 杜永杰 申请（专利权）人 珠海市能动科技光学产业有限公司
代理机构 佛山帮专知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 颜德昊
地址 519050 广东省珠海市金湾区南水镇化联四路15号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种干膜光阻剂，其包含以下组分：高分子粘合剂A，活性单体B，自由基引发剂C1，阳离子引发剂C2，热聚合抑制剂，紫外光吸收剂，以及增塑剂；该活性单体B至少包含活性单体B1、B2和B3；活性单体B1的结构式为：X表示‑CH2CH2O‑，Y表示‑CH2‑CH(CH3)O‑或‑CH(CH3)CH2O‑，m表示1～15的整数，n表示0～15的整数；活性单体B2的结构式为：表示‑CH2CH2O‑，Y表示‑CH2‑CH(CH3)O‑或‑CH(CH3)CH2O‑，m表示1～25的整数，n表示1～25的整数；活性单体B3的结构式为：该阳离子引发剂C2选自烷基硫鎓盐C21、三芳基硫鎓盐C22、二芳基碘鎓盐C23中的至少一种。采用该水溶液显影的干膜光阻剂，能够在普通UV平行光源下形成较精密的线路，且在电镀金工艺和选择性化学沉金工艺上均有优异的表现。