一种改性高分子粘合剂及含有该粘合剂的干膜光阻剂
基本信息
| 申请号 | CN202011242399.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112159639A | 公开（公告）日 | 2021-01-01 |
| 申请公布号 | CN112159639A | 申请公布日 | 2021-01-01 |
| 分类号 | C09J151/06(2006.01)I | 分类 | 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用; |
| 发明人 | 杜永杰;彭威;邓晓明 | 申请（专利权）人 | 珠海市能动科技光学产业有限公司 |
| 代理机构 | 佛山帮专知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 珠海市能动科技光学产业有限公司 |
| 地址 | 519050广东省珠海市金湾区南水镇化联四路15号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种改性高分子粘合剂及含有该粘合剂的干膜光阻剂，属于光刻胶领域。该改性高分子粘合剂具有含羧基且侧链含有双键的特点，其中固态酸值为80～220，重均分子量为20K～200K，引入的双键含量为羧基含量的1％～15％。本发明的干膜光阻剂除包括上述改性粘合剂之外，还包括传统的含羧基的高分子粘合剂、乙烯基(甲基)丙烯酸酯类光聚合单体、光引发剂和可反应性紫外光吸收剂。本发明的干膜光阻剂层在同样厚度甚至更薄的情况下，封孔能力提升，即延展性和断裂强度增加；解析能力提升，解析精度提高到介于干膜光阻剂层厚度的0.5～0.8之间；可简化现有干膜光阻剂配方，干膜光阻剂生产稳定性提升。 |
