一种功率模块全自动热压成型装置
基本信息
| 申请号 | CN201720817362.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN206947296U | 公开（公告）日 | 2018-01-30 |
| 申请公布号 | CN206947296U | 申请公布日 | 2018-01-30 |
| 分类号 | H01L21/603 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 陈刚;林强;王磊 | 申请（专利权）人 | 凯尔测控技术（天津）有限公司 |
| 代理机构 | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 | 代理人 | 琪琛 |
| 地址 | 300350 天津市津南区双港镇双港工业园区丽港园11号229-8 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型属于功率电子器件封装技术领域，公开了一种功率模块全自动热压成型装置，包括上层工作区和下层附件及控制区，上层工作区内部设置有热压作动系统、热压导向系统、加热组件，下层附件及控制区内部设置水冷系统和控制系统。本实用新型可以提供不同的烧结压力和烧结温度，同时可以通过闭环反馈精确控制烧结压力和粘接层高度，实现烧结时间、烧结压力、粘接层厚度的多种变化，为研究功率模块热压成型的相关难题提供帮助，对于半导体、微机电系统等高新技术产业的发展具有重要的推动作用。 |
