一种干膜抗蚀剂
基本信息
| 申请号 | CN202110399690.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113126434A | 公开（公告）日 | 2021-07-16 |
| 申请公布号 | CN113126434A | 申请公布日 | 2021-07-16 |
| 分类号 | G03F7/004（2006.01）I;G03F7/027（2006.01）I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 严晓慧;李伟杰;张浙南 | 申请（专利权）人 | 福斯特（安吉）新材料有限公司 |
| 代理机构 | 浙江千克知识产权代理有限公司 | 代理人 | 裴金华 |
| 地址 | 313307浙江省湖州市安吉县梅溪镇临港产业园疏港大道88号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种干膜抗蚀剂，包括40‑70份树脂，20‑60份光聚合性单体，0.5‑10份光引发剂，0.1~3份的其他添加剂；其中光聚合性单体为聚氨酯丙烯酸酯单体以及结构式1所示的丙烯酸酯单体混合使用。本发明通过从整体配方角度去改进，在光聚合性单体中引入结构式1所示的丙烯酸酯单体和聚氨酯丙烯酸酯单体，并对树脂进行选择，协调全面提升曝光后干膜与铜板结合力以及耐冲击能力。 |
