树脂组合物、混合物、干膜抗蚀剂及相应的元件
基本信息
| 申请号 | CN202010686590.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111796483A | 公开（公告）日 | 2021-06-25 |
| 申请公布号 | CN111796483A | 申请公布日 | 2021-06-25 |
| 分类号 | G03F7/027;G03F7/004 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 韩传龙;李伟杰;朱霞月;朱薛妍;严晓慧;周光大 | 申请（专利权）人 | 福斯特（安吉）新材料有限公司 |
| 代理机构 | 浙江千克知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李鑫 |
| 地址 | 313307 浙江省湖州市安吉县梅溪镇临港产业园疏港大道88号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种树脂组合物、混合物、干膜抗蚀剂及相应的元件，属于电路印刷元件的制备技术领域。树脂组合物，包含有如下重量份的原料：粘合剂聚合物，50~70份；光聚合单体，10~50份；光引发剂，0.5~5.0份；消泡剂，0.1~5.0份；其中，光聚合单体中包含有通式（Ⅰ）所示的化合物，消泡剂中包含有通式（Ⅱ）所示的化合物。该树脂组合物具有优异的柔韧性、耐化学性和耐电镀性能，并且显影泡沫低、显影后干膜侧边形貌良好；进一步的，该树脂组合物作为干膜抗蚀剂制备元件时，可以有效提升产品良率和生产效率。 |
