一种电镀铟添加剂及其制备工艺

基本信息

申请号 CN202210346217.2 申请日 -
公开(公告)号 CN114606543A 公开(公告)日 2022-06-10
申请公布号 CN114606543A 申请公布日 2022-06-10
分类号 C25D3/54(2006.01)I 分类 电解或电泳工艺;其所用设备〔4〕;
发明人 邱雁强;姚玉;王江锋 申请(专利权)人 深圳创智芯联科技股份有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 518101广东省深圳市宝安区新安街道留仙二路中粮商务公园1栋14楼1403A
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种电镀铟添加剂及其制备工艺,包括以下使用超纯水配制浓度的组份:氨基磺酸铟80‑120g/L,氨基磺酸20‑40g/L,双十二烷基二甲基溴化铵50‑200mg/L,炔醇聚醚类表面活性剂10‑50mg/L,羧甲基壳聚糖0.5‑3g/L及乙二胺二琥珀酸三钠0.1‑0.5g/L。本发明的铟电镀液在铟沉积期间可有效抑制氢气的产生,可有效提高阴极电镀效率,在镍金属层上有效均匀沉积目标厚度的铟金属层,得到平整均一的镀层,适用于整面电镀或微细线路/图形的电镀,且使用寿命长。