栅控二极管整流器

基本信息

申请号 CN202111389575.3 申请日 -
公开(公告)号 CN113823679A 公开(公告)日 2021-12-21
申请公布号 CN113823679A 申请公布日 2021-12-21
分类号 H01L29/739(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 廖天;高巍;顾航;戴茂州 申请(专利权)人 成都蓉矽半导体有限公司
代理机构 成都点睛专利代理事务所(普通合伙) 代理人 敖欢
地址 610041四川省成都市中国(四川)自由贸易试验区成都高新区天府大道中段1366号2栋9楼12-18号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种栅控二极管整流器,包括金属化阴极,重掺杂第一导电类型衬底层,第一导电类型漂移层,P型基区,N+源区和栅极结构;所述栅极结构为平面栅结构,包括栅氧化层,多晶硅层和金属化阳极,其中,栅氧化层覆盖于第一导电类型漂移层之上,其在横向上覆盖了MCR器件的沟道区与部分N+源区上表面,多晶硅层覆盖于栅氧化层之上,金属化阳极覆盖于多晶硅层与第一导电类型漂移层之上;金属化阳极与P型基区接触形成肖特基接触区,本发明通过阳极金属与P型基区的特殊接触,增加了PN结的导通压降,使得器件导通时工作在单极模式,降低了器件的反向恢复时间和电荷,减小了系统的开关损耗。