一种用于晶体生长的称量装置
基本信息
申请号 | CN201921252030.6 | 申请日 | - |
公开(公告)号 | CN210529103U | 公开(公告)日 | 2020-05-15 |
申请公布号 | CN210529103U | 申请公布日 | 2020-05-15 |
分类号 | C30B15/28;C30B15/30 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
发明人 | 胡卫东;杨利涛;刘侃;王冬 | 申请(专利权)人 | 合肥嘉东光学股份有限公司 |
代理机构 | 合肥市长远专利代理事务所(普通合伙) | 代理人 | 合肥嘉东光学股份有限公司 |
地址 | 230000 安徽省合肥市高新区黄山路626号高新集团大楼318室 | ||
法律状态 | - |
摘要
摘要 | 本实用新型提出的一种用于晶体生长的称量装置,通过设置驱动组件驱动内转盘转动,内转盘转动从而带动伸缩杆转动,伸缩杆转动从而带动套筒转动,套筒与螺杆螺纹连接使转动地套筒可沿螺杆的长度方向移动以带动称量传感器与籽晶杆移动,从而实现籽晶杆在提升的过程中旋转,提高温度场径向对称性,长处几何对称性的晶体,而且根据称量传感器所检测的重量信息,驱动组件驱动内转盘改变转速改变晶体的直径和提升速度以适应不同的要求。 |
