一种单晶硅生产设备
基本信息
| 申请号 | CN202110456606.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113151892B | 公开（公告）日 | 2022-02-18 |
| 申请公布号 | CN113151892B | 申请公布日 | 2022-02-18 |
| 分类号 | C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I;C30B15/20（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 陈立民;赵亮;陈丽芳;王泽东;姜君 | 申请（专利权）人 | 曲靖阳光新能源股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京华仁联合知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李冰 |
| 地址 | 655000 云南省曲靖市曲靖开发区翠峰路83号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种单晶硅生产设备，其中，直拉单晶用热屏装置包括：内层隔热筒；外层隔热筒，所述外层隔热筒围绕设置在所述内层隔热筒外侧；热反射片，所述热反射片固定连接在所述外层隔热筒内侧周壁上；隔热垫，所述隔热垫固定安装在所述内层隔热筒和所述热反射片之间；其中单晶硅生产设备包括:炉体；坩埚，所述坩埚安装在所述炉体内底壁上，所述坩埚底部安装有旋转装置；热屏装置，所述热屏装置用于单晶硅生产过程中的热屏蔽；充气装置，所述充气装置用于往炉体内充入气体；直拉装置，所述直拉装置用于单晶硅的直拉生长。通过上述结构的设计，能增大纵向温度梯度，提高单晶硅的生长速度，从而提高单晶硅的产量和生产效率。 |
