一种单晶炉用自动上料车
基本信息
| 申请号 | CN202110593172.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113308746B | 公开（公告）日 | 2022-02-22 |
| 申请公布号 | CN113308746B | 申请公布日 | 2022-02-22 |
| 分类号 | C30B35/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 谭鑫;陈立民;赵亮;姜君 | 申请（专利权）人 | 曲靖阳光新能源股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京华仁联合知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李冰 |
| 地址 | 655000 云南省曲靖市曲靖开发区翠峰路83号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种单晶炉用自动上料车，包括：行走小车；机械手，所述机械手安装于所述行走小车上；坩埚吸盘单元，所述坩埚吸盘单元安装于所述机械手前端；视频采集单元，所述视频采集单元安装于所述行走小车上，所述视频采集单元用于采集行走小车行走方向前端的视频信息；真空泵，所述真空泵安装于所述行走小车上，所述真空泵通过网纹管与坩埚吸盘单元连接。 |
