一种以带尖籽晶为参照的单晶炉液口距测量方法及装置

基本信息

申请号 CN202110591277.6 申请日 -
公开(公告)号 CN113308731B 公开(公告)日 2022-02-18
申请公布号 CN113308731B 申请公布日 2022-02-18
分类号 C30B15/26(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 谭鑫;陈立民;陈丽芳;李贺 申请(专利权)人 曲靖阳光新能源股份有限公司
代理机构 北京华仁联合知识产权代理有限公司 代理人 李冰
地址 655000 云南省曲靖市曲靖开发区翠峰路83号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供了一种以带尖籽晶为参照的单晶炉液口距测量方法,包括步骤1:在重锤下端安装带尖籽晶,然后将所述重锤放入主炉室内部,获取带尖籽晶末端到导流筒下沿平面的距离;步骤2:使用CCD相机获取所述带尖籽晶尖端的实际像素位置图像与所述带尖籽晶尖端倒影的像素位置图像,然后根据所述实际像素位置与所述带尖籽晶尖端倒影的像素位置计算所述带尖籽晶尖端到熔硅液面的距离;步骤3:基于所述带尖籽晶末端到导流筒下沿平面的距离及所述带尖籽晶尖端到熔硅液面的距离,计算单晶炉液口距。本发明中,通过CCD相机获取的图像能够准确计算液口距,消除了人为误差,提高了液口距的准确性,从而实现了液口距的精准定位,便于单晶炉液口距的精准控制。