一种多功能真空镀膜机
基本信息
| 申请号 | CN201810496829.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108588671B | 公开（公告）日 | 2020-03-24 |
| 申请公布号 | CN108588671B | 申请公布日 | 2020-03-24 |
| 分类号 | C23C14/56;C23C14/24 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 柳一民;王静辉 | 申请（专利权）人 | 桑尼光电技术（安徽）有限公司 |
| 代理机构 | 合肥顺超知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 桑尼光电技术（安徽）有限公司 |
| 地址 | 243000 安徽省马鞍山市雨山区郑蒲港新区联合路成都机械电子创业园5#厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种多功能真空镀膜机，包括真空镀膜机本体、控制面板、迅速降温装置、补气管、补气箱、抽气管、抽气箱、扩散泵、罗茨泵、机器泵、抽气除尘器、抽气空气泵、补气除尘器、补气空气泵，所述迅速降温装置包括框体、水槽、入水塞、海绵金属网、散热风扇、进风口，所述控制面板设置于所述真空镀膜机本体的左侧，所述迅速降温装置设置于所述真空镀膜机本体的右侧，所述补气箱通过所述补气管与所述真空镀膜机本体内部连通，所述抽气箱通过所述抽气管与所述真空镀膜机本体连接，本发明结构简单，操作方便，功能齐全，能够保持真空室内无尘环境，而且能够对镀膜机内部快速降温，提高工作效率，设置有密封圈可以防止气体的泄漏。 |
