一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门
基本信息
| 申请号 | CN201820766280.0 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN208328093U | 公开（公告）日 | 2019-01-04 |
| 申请公布号 | CN208328093U | 申请公布日 | 2019-01-04 |
| 分类号 | C23C14/32 | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 柳一民;王静辉 | 申请（专利权）人 | 桑尼光电技术（安徽）有限公司 |
| 代理机构 | 合肥顺超知识产权代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 桑尼光电技术（安徽）有限公司 |
| 地址 | 243000 安徽省马鞍山市雨山区郑蒲港新区联合路成都机械电子创业园5#厂房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了真空镀膜机技术领域的一种安装有弧源的真空镀膜机拼装门，包括真空镀膜机、底座、冷却腔和闭合门，真空镀膜机的侧壁固定设置有转动套，转动套内腔套设有连接轴，连接轴与闭合门固定连接，闭合门的侧壁开设有拼装门槽，拼装门槽的内壁均设置有两组挡板，拼装门槽的内腔活动安装有拼装门，拼装门的内腔安装有弧源，拼装门的上下壁均开设有矩形槽，矩形槽内固定设置有卡块，本实用新型通过便于拼装门和闭合门的手动开启，拆卸时，可通过手动转动旋钮，通过上合板和下合板与卡块的配合，手动将拼装门拆卸下来，便于更换，弧源安装在拼装门上，可通过更换不同的拼装门，改变弧源的数量和位置，达到一机多用的效果，提高企业的效率。 |
