一种具有抗污染功能的氧化锌刺柱阵列及其制备方法与应用
基本信息
| 申请号 | CN201911142686.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111153430A | 公开（公告）日 | 2020-05-15 |
| 申请公布号 | CN111153430A | 申请公布日 | 2020-05-15 |
| 分类号 | C01G9/02;B82Y40/00;G01N27/12 | 分类 | 无机化学; |
| 发明人 | 奚亚男;胡淑锦 | 申请（专利权）人 | 广州钰芯瀚吉科技有限公司 |
| 代理机构 | 佛山帮专知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 广州钰芯瀚吉科技有限公司 |
| 地址 | 510000 广东省广州市南沙区南沙街进港大道8号1104房 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种具有抗污染功能的氧化锌刺柱阵列结构的制备方法与应用。本发明以柔性聚碳酸酯多孔膜为基底，通过原子层沉积、等离子体刻蚀、水热生长、二次刻蚀等步骤，构筑了具有微纳分级结构的氧化锌刺柱阵列，其拥有优异的气敏性能与良好的自清洁抗污染性能，可进一步构建应用于苛刻环境的复合功能气敏传感器。 |
