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一种晶圆载具及外延生长设备

基本信息

申请号 CN202122949424.0 申请日 -
公开（公告）号 CN216749857U 公开（公告）日 2022-06-14
申请公布号 CN216749857U 申请公布日 2022-06-14
分类号 H01L21/687（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 胡洪雨;郑元宇;林峰;张富钦 申请（专利权）人 厦门市三安集成电路有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 361100福建省厦门市同安区洪塘镇民安大道753-799号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供一种晶圆载具及外延生长设备，包括装设于外延生长设备腔体内旋转座上的底座和放置晶圆片的载盘，底座和载盘旋转轴心位于同一直线，底座为盘状，其下方设有卡接旋转座用于防止载具径向移动的凸起，其上方设有适配于载盘从上方垂直放入的容纳槽，容纳槽内具有用于支撑载盘的第一台阶，载盘装设于容纳槽内并具有一适配于晶圆片从上方垂直放入的凹槽，凹槽内具有用于支撑晶圆片的第二台阶，载盘与底座抵接一侧具有凸块，底座与载盘抵接一侧具有与凸块配合的止转部，以限制载盘相对于底座转动，载盘可在旋转座的带动下高速稳定地旋转，载盘和底座之间不易打滑，避免持续打滑抖动造成严重偏移导致飞片，提升产品良率和降低生产成本。