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级联型的低失调垂直霍尔传感器系统

基本信息

申请号 CN202110828998.4 申请日 -
公开（公告）号 CN113466758A 公开（公告）日 2021-10-01
申请公布号 CN113466758A 申请公布日 2021-10-01
分类号 G01R33/07（2006.01）I;H01L43/06（2006.01）I 分类 测量；测试;
发明人 欧阳忠明;郎君;田剑彪 申请（专利权）人 绍兴光大芯业微电子有限公司
代理机构 上海智信专利代理有限公司 代理人 王洁
地址 312000浙江省绍兴市天姥路13号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种级联型的低失调垂直霍尔传感器系统，包括四个级联霍尔单元，所述的四个级联霍尔单元的结构完全一致，通过接触孔引线金属将四个级联霍尔单元两两连接在一起，形成完全结构对称的四电极垂直霍尔传感器，其中一对级联霍尔单元用于作为电压或者电流输入电极对，另外一对用于作为霍尔电压或者霍尔电流检测电极。采用了本发明的级联型的低失调垂直霍尔传感器系统，结构对称，天生就有相对小的失调电压。本发明可以有效利用旋转电流法的优点把失调电压减小到传统五电极垂直霍尔失调电压的十分之一以下。本发明的采用P型覆盖层和P型隔离环，通过器件尺寸的合理设计和仿真，提高了器件的灵敏度和噪声隔离特性。