一种用于滤光片生产的掩膜

基本信息

申请号 CN202121468329.2 申请日 -
公开(公告)号 CN215181390U 公开(公告)日 2021-12-14
申请公布号 CN215181390U 申请公布日 2021-12-14
分类号 G03F1/00(2012.01)I 分类 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术〔4〕;
发明人 徐志根;范文生;闫志华 申请(专利权)人 北京同生科技有限公司
代理机构 北京中政联科专利代理事务所(普通合伙) 代理人 刘艳
地址 100000北京市丰台区科兴路7号148室(园区)
法律状态 -

摘要

摘要 一种用于滤光片生产的掩膜,涉及掩膜技术领域,包括掩膜本体、定位分隔块、一号彩色单元和二号彩色单元;掩膜本体上设置多组凹槽单元;定位分割块设置在凹槽单元上,定位分割块侧面设置有反光层;一号彩色单元和二号彩色单元设置在凹槽单元上,且位于定位分割块反光层的周围。本实用新型通过在掩膜本体上设置定位分割块,提高掩膜在滤光片制作时,与彩色曝光片之间的定位效果;在定位分割块的侧面设置反光层,提高一号彩色单元和二号彩色单元的显色效果;定位分割块的最高处高于掩膜本体,保证了一号彩色单元和二号彩色单元不受磨损,提高掩膜的使用寿命。