一种光刻胶
基本信息
| 申请号 | CN201310745302.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104749883A | 公开（公告）日 | 2022-04-01 |
| 申请公布号 | CN104749883A | 申请公布日 | 2022-04-01 |
| 分类号 | G03F7/027;G03F7/004 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 钟亮;刘翘楚;黄康 | 申请（专利权）人 | 上海飞凯材料科技股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京三高永信知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 刘映东 |
| 地址 | 201206 上海市浦东新区桂桥路169号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种光刻胶，属于光刻技术领域。该光刻胶包括以下重量分数的组分：碱溶性树脂10%-60%、热固性树脂2%-30%、光聚合单体5%-30%、光引发剂0.5%-8%、溶剂20%-80%以及颜料0.1%-5%。在紫外光条件下，上述配比的光刻胶中的光引发剂能够引发光聚合单体发生光交联固化反应形成高聚物；在受热条件下，热固性树脂自身热交联固化以及与碱溶性树脂中的羧酸基团发生热交联固化反应。这样的组成，使得光刻胶可以先经曝光、在碱水溶液中显影形成图案；然后进行热固化，使得该光刻胶形成更加致密和稳定的交联结构，极大减少了其在酸性或碱性金属蚀刻液中的溶胀溶解能力，从而能够使制备的光刻胶达到即耐酸又耐碱的性能，即避免了固化的光刻胶被金属蚀刻液溶解而造成图案缺陷的问题。 |
