一种长晶炉工艺气混气气道
基本信息
| 申请号 | CN202010998980.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112191121A | 公开（公告）日 | 2021-01-08 |
| 申请公布号 | CN112191121A | 申请公布日 | 2021-01-08 |
| 分类号 | B01F5/04 | 分类 | 一般的物理或化学的方法或装置; |
| 发明人 | 李辉;叶迎海;毛瑞川 | 申请（专利权）人 | 南京晶升装备股份有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 张弛 |
| 地址 | 211113 江苏省南京市南京经济技术开发区红枫科技园B4栋西侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种长晶炉工艺气混气气道，包括座体、位于座体内部的气环、至少两个进气道、覆盖在气环上的封板；所述气环包括圆柱形的侧壁，位于侧壁上端的一圈上圆环、位于侧壁下端的一圈下圆环；侧壁、上圆环下表面、下圆环上表面与内壁之间围成环向气道；所述上圆环设有与环向气道贯通的若干上气道，下圆环设有与环向气道贯通的若干下气道；各个上气道及下气道中喷出的工艺气多次相互撞击，实现较均匀的工艺气混合。 |
