一种轴向温度多梯度可控的热场及长晶炉
基本信息
| 申请号 | CN202010998979.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112176396A | 公开（公告）日 | 2021-01-05 |
| 申请公布号 | CN112176396A | 申请公布日 | 2021-01-05 |
| 分类号 | C30B11/00;C30B29/36 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 李辉;毛瑞川;杨茜 | 申请（专利权）人 | 南京晶升装备股份有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 张弛 |
| 地址 | 211113 江苏省南京市南京经济技术开发区红枫科技园B4栋西侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种轴向温度多梯度可控的热场，包括石英管、收容于石英管内部的坩埚、围绕石英管外围的上线圈、围绕石英管外围的中线圈、围绕石英管外围的下线圈；所述上线圈配有跟随上线圈移动的上红外高温计、中线圈配有跟随中线圈移动的中红外高温计、下线圈配有跟随下线圈移动的下红外高温计。红外高温计跟随每区线圈移动，可以根据测得的数据，调节各感应线圈功率大小，真正实现温度梯度可调。该技术方案可控性强，操作方便，避免了传统单扎感应线圈带来的温度梯度不可调的问题。本发明还提供了具有上述热场的长晶炉。 |
