蓝宝石单晶炉的晶体平衡提升装置及提升方法
基本信息
| 申请号 | CN201811389677.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109306524B | 公开（公告）日 | 2021-01-05 |
| 申请公布号 | CN109306524B | 申请公布日 | 2021-01-05 |
| 分类号 | C30B29/20;C30B17/00;C30B35/00 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 李辉;徐书忠;罗汉昌;王守琛;王荣 | 申请（专利权）人 | 南京晶升装备股份有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 张弛 |
| 地址 | 210000 江苏省南京市南京经济技术开发区红枫科技园B4栋西侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种蓝宝石单晶炉的晶体平衡提升装置及提升方法，包括提升部件、称重部件、晶体生长部件、弯矩平衡部件和控制单元；所述弯矩平衡部件和称重部件分别设置于所述提升部件的两侧，弯矩平衡部件的压力传感器、称重部件的称重传感器将实时检测到的平衡力和晶体重量数据传递给控制单元，控制单元通过计算并控制流量调节阀调节施加的平衡力的大小，使得提升部件受到的弯矩为控制单元预设的弯矩目标值。该装置能够平衡掉大部分负载弯矩和系统弯矩，使得提升部件所承载的弯矩大大减小，提高了可提升晶体的重量。该提升方法在晶体提升过程中，提升部件承受弯矩值保持不变，使提升过程更加平稳，提高了提升的精度，有利于稳定长晶。 |
