一种具有底部隔热条的硅材料生长炉
基本信息
| 申请号 | CN201922394894.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211734534U | 公开（公告）日 | 2020-10-23 |
| 申请公布号 | CN211734534U | 申请公布日 | 2020-10-23 |
| 分类号 | C30B35/00;C30B29/06 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 李辉;郑锴;秦英谡;张熠;穆童 | 申请（专利权）人 | 南京晶升装备股份有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 张弛 |
| 地址 | 211113 江苏省南京市南京经济技术开发区红枫科技园B4栋西侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开一种具有底部隔热条的硅材料生长炉，包括隔热笼、坩埚、坩埚托盘、侧加热器；坩埚的底部外围设有一个圆环状石墨隔热条，由于石墨材质的高导热系数，使该石墨隔热条能够较快带走石墨坩埚底部热量。在不影响晶锭质量的情况下，加快了晶锭生长速率，更有利于晶锭散热效果，使晶锭表面生长更加平整。 |
