一种碳化硅原料合成炉的热场及合成炉
基本信息
| 申请号 | CN202011350688.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112725903A | 公开（公告）日 | 2021-04-30 |
| 申请公布号 | CN112725903A | 申请公布日 | 2021-04-30 |
| 分类号 | C30B35/00;C30B29/36 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 李辉;杨茜;毛瑞川;叶迎海;郭志强;逯文东 | 申请（专利权）人 | 南京晶升装备股份有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 张弛 |
| 地址 | 211113 江苏省南京市南京经济技术开发区红枫科技园B4栋西侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种碳化硅原料合成炉的热场，包括坩埚主加热器、辅加热器、保护筒及气路管，该保护筒包括围绕坩埚周向的保护筒侧壁、位于坩埚底部下方的保护筒底壁位于坩埚顶部的顶盖，其中保护筒侧壁位于坩埚与主加热器之间，保护筒底壁位于辅加热器与坩埚底之间；本发明的热场可以使原料在圆周方向及底部区域都均匀受热，避免局部过热或过冷的情况，具有更好的温度均匀性，热场性能加稳定，提高了热效率。石墨保护筒将加热器与粉料隔离，保护加热器在使用过程中不受污染，延长加热器寿命。本发明还提供了一种合成炉，具有上述技术方案中的热场。 |
