一种晶体称重装置
基本信息
| 申请号 | CN201811390172.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109338468B | 公开（公告）日 | 2021-04-06 |
| 申请公布号 | CN109338468B | 申请公布日 | 2021-04-06 |
| 分类号 | C30B29/20;C30B15/24 | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 李辉;王守琛;毛洪英;张熠;大卫·肯尼斯·李斯 | 申请（专利权）人 | 南京晶升装备股份有限公司 |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所（普通合伙） | 代理人 | 张弛 |
| 地址 | 210000 江苏省南京市南京经济技术开发区红枫科技园B4栋西侧 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种用于大重量级蓝宝石晶体的长晶炉的晶体称重装置。由于现有的蓝宝石长晶炉，普遍是将晶体称重装置安放于真空腔外,而与水冷式籽晶转轴分离，其密封设计比较简单，但称重误差明显。真空腔内外压力变化使水冷式籽晶转轴及称重传感器受额外的随机的压差载荷，导致晶体称重出现随机的不可控误差。本发明即为解决此难题，将晶体称重装置安放于真空腔内，即与长晶真空腔室直接连通，以彻底消除真空腔内外的随机压差载荷对晶体称重影响，且此装置带有循环冷却水系统，通过合理设计动态密封的循环冷却水系统，避免意外泄漏而污染真空腔。 |
