一种La-Zr合金靶及其制备方法

基本信息

申请号 CN202110983772.1 申请日 -
公开(公告)号 CN113652658A 公开(公告)日 2021-11-16
申请公布号 CN113652658A 申请公布日 2021-11-16
分类号 C23C14/34(2006.01)I;C22C1/03(2006.01)I;C22C28/00(2006.01)I;C22C16/00(2006.01)I;C22B9/02(2006.01)I 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 周煌;黄美松;马小波;刘维;刘华;樊玉川;郭利平;文康 申请(专利权)人 湖南稀土金属材料研究院有限责任公司
代理机构 长沙正奇专利事务所有限责任公司 代理人 马强;聂午阳
地址 410126湖南省长沙市芙蓉区隆平高科技园隆园二路108号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了La‑Zr合金靶及其制备方法,包括以下步骤:将La‑Mg合金铸锭与锆置于熔炼设备内进行熔炼,熔炼温度为1700~2200℃,保温时间为1~40min,使La‑Mg合金铸锭中所有的镁完全挥发,制得La‑Zr合金靶;其中La‑Zr合金靶中镧的重量百分比为40%~80%,锆的重量百分比为20%~60%,La‑Mg合金铸锭中镁的重量百分比为La‑Zr合金靶中镧与锆总质量的5~50%。本发明解决了传统熔炼方法得到的合金靶容易出现分层的现象,制得的La‑Zr合金靶成分均匀、氧含量低;该方法提高了生产效率,降低了生产成本。