La-Ti合金靶及其制备方法

基本信息

申请号 CN202110982084.3 申请日 -
公开(公告)号 CN113684456A 公开(公告)日 2021-11-23
申请公布号 CN113684456A 申请公布日 2021-11-23
分类号 C23C14/34;C22C1/03;C22C14/00;C22C28/00;B22D7/00 分类 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人 周煌;郭利平;刘维;马小波;黄美松;文康;刘华;赵瑞山 申请(专利权)人 湖南稀土金属材料研究院有限责任公司
代理机构 长沙正奇专利事务所有限责任公司 代理人 马强;聂午阳
地址 410126 湖南省长沙市芙蓉区隆平高科技园隆园二路108号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了La‑Ti合金靶及其制备方法,包括以下步骤:将La‑Mg合金铸锭与金属钛置于熔炼设备内进行熔炼,熔炼温度为1700~2200℃,保温时间为1~40min,使La‑Mg合金铸锭中所有的镁完全挥发,制得La‑Ti合金靶;其中La‑Ti合金靶中镧的重量百分比为20%~60%,金属钛的重量百分比为40%~80%,La‑Mg合金铸锭中镁的重量百分比为La‑Ti合金靶中镧与钛总质量的5~50%。本发明制备得到的La‑Ti合金靶成分均匀、氧含量低;该方法提高了生产效率,降低了生产成本;解决了传统熔炼方法得到的合金靶容易出现分层的现象。