探针架

基本信息

申请号 CN202122577177.6 申请日 -
公开(公告)号 CN216485179U 公开(公告)日 2022-05-10
申请公布号 CN216485179U 申请公布日 2022-05-10
分类号 G01R1/06(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 许崇毅;万铜锤;张晋 申请(专利权)人 深圳市盛世智能装备股份有限公司
代理机构 广州嘉权专利商标事务所有限公司 代理人 -
地址 518000广东省深圳市宝安区石岩街道石龙社区工业二路1号惠科工业园厂房7栋1楼东面及2楼东面
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种探针架,包括安装座、探针安装组件、弹片和接触压力调节组件。探针安装组件包括探针和安装板,探针固定于安装板;弹片的一端与安装板固定连接,弹片的另一端与安装座固定连接;接触压力调节组件包括调节螺钉和第一弹性件,调节螺钉与安装座螺纹连接,第一弹性件的一端与调节螺钉连接,第一弹性件的另一端与安装板连接,本实用新型通过设置在安装板和安装座之间的弹片产生弹性力,用于抵消探针安装组件的重力,本探针架还通过调节螺钉使得第一弹性件产生向下弹性力,调节螺钉通过调节第一弹性件的形变量来控制向下弹性力的大小,从而达到调节探针接触芯片时给予芯片的压力,实现探针接触压力可调。