芯片检测设备
基本信息
| 申请号 | CN202022933144.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214226867U | 公开（公告）日 | 2021-09-17 |
| 申请公布号 | CN214226867U | 申请公布日 | 2021-09-17 |
| 分类号 | H01L21/66（2006.01）I;G01R31/28（2006.01）I;G01R1/04（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 陈秋龙;张晋;刘东成 | 申请（专利权）人 | 深圳市盛世智能装备股份有限公司 |
| 代理机构 | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人 | 谢岳鹏 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道石龙社区工业二路1号惠科工业园厂房7栋1楼东面及2楼东面 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种芯片检测设备。芯片检测设备包括基座、驱动结构、检测结构和微调结构，驱动结构包括第三底座、移动平台、第一驱动件和第二驱动件，第一驱动件的壳体位于第三底座上，第二驱动件的壳体位于第一驱动件的输出端上，移动平台位于第二驱动件的输出端上，第三底座能够能够相对基座移动，第一驱动件用于驱动移动平台围绕移动平台的轴线转动，第二驱动件用于改变移动平台相对基座的高度，且移动平台能够相对基座移动；检测结构连接于基座上，且检测结构位于移动平台的上侧，微调结构位于承载板上，微调结构包括探针，承载板位于移动平台的上侧。本实用新型提出的芯片检测设备能够在芯片检测前调整芯片的位置。 |
