微调结构、探针微调装置和微调组件

基本信息

申请号 CN202022932563.8 申请日 -
公开(公告)号 CN214622715U 公开(公告)日 2021-11-05
申请公布号 CN214622715U 申请公布日 2021-11-05
分类号 G01R1/02(2006.01)I;G01R1/067(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 陈秋龙 申请(专利权)人 深圳市盛世智能装备股份有限公司
代理机构 广州嘉权专利商标事务所有限公司 代理人 谢岳鹏
地址 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道石龙社区工业二路1号惠科工业园厂房7栋1楼东面及2楼东面
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种微调结构、探针微调装置和微调组件。微调结构包括底座、第一移动件、第一推杆和转动件,底座连接有第一轨道,第一移动件能够沿着第一轨道移动,第一移动件能够用于连接探针,第一推杆能够相对底座移动,转动件能够相对底座转动,转动件设有相互垂直的第一面和第二面,第一面用于与第一推杆接触,第二面用于与第一移动件接触。由于第一推杆的推杆可以带动转动件转动,然后通过第二面推动移动件,使得第一移动件可以沿着第一推到进行移动,从而达到第一推杆能够驱动移动件沿着垂直第一推杆移动方向运动的目的。本实用新型还公开了一种探针微调装置,本实施例还提供了一种微调组件。