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一种基于托盘的晶圆定位方法及系统

基本信息

申请号 CN201710069259.5 申请日 -
公开（公告）号 CN107946227B 公开（公告）日 2018-12-18
申请公布号 CN107946227B 申请公布日 2018-12-18
分类号 H01L21/68 分类 基本电气元件;
发明人 马法君;徐春阳;邢志刚 申请（专利权）人 中晟光电设备（上海）股份有限公司
代理机构 北京品源专利代理有限公司 代理人 中晟光电设备（上海）股份有限公司
地址 200120 上海市浦东新区张江高科技园区华佗路168号3幢B区
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及半导体制作工艺技术领域，具体涉及一种基于托盘的晶圆定位方法及系统，其中，一种基于托盘的晶圆定位方法，包括：获取预制的托盘位置数据及容纳所述晶圆的凹槽位置数据；根据所述托盘位置数据和所述凹槽位置数据形成标准数据组；获取匹配所述托盘及所述晶圆当前状态的检测信号，并形成一检测数据组；根据所述检测数据组结合所述标准数据组对所述检测数据组做卷积处理并形成卷积处理图；根据第一预定标识数据、和第二预定标识数据于所述卷积处理图中获取一卷积极值；根据所述卷积极值形成匹配所述晶圆位置的定位数据，并根据所述定位数据获取所述晶圆的位置数据。