一种宽域式线性氧传感器及制造方法

基本信息

申请号 CN201810372977.4 申请日 -
公开(公告)号 CN108414602A 公开(公告)日 2018-08-17
申请公布号 CN108414602A 申请公布日 2018-08-17
分类号 G01N27/407;G01N27/41 分类 测量;测试;
发明人 尧中华;曾咏平;胡国付;张喜成 申请(专利权)人 武汉泽科宁电子科技有限公司
代理机构 武汉开元知识产权代理有限公司 代理人 马辉
地址 430056 湖北省武汉市武汉市经济技术开发区西北湖四路昌华工业园
法律状态 -

摘要

摘要 本发明涉及一种传感器,尤其是涉及一种宽域式线性氧传感器及制造方法。该性氧传感器,包括依次设置的外电极保护层、氧泵电池层、参考电压感应层和基板层,氧泵电池层和参考电压感应层之间设有尾气气腔,尾气气腔内设有环形内外扩散障层。环形内外扩散障层包括第一扩散障层和第二扩散障层,通过梯度扩散障技术,第一扩散障层过滤尾气中杂质及对电极有毒颗粒,第二扩散障层对尾气进行限流控制,提高传感器的使用寿命,且达到了精确控流的效果;采用多孔陶瓷技术,通过调控组成控制孔隙率含量和分布,提高了传感器的精确度和灵敏度;采用多孔陶瓷支撑技术,通过多孔架构制备参考空气腔体,显著提高瓷片的力学强度,有利于提高成品率。