一种用于砷化镓生产的热场装置
基本信息
| 申请号 | CN201921364332.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211036183U | 公开（公告）日 | 2020-07-17 |
| 申请公布号 | CN211036183U | 申请公布日 | 2020-07-17 |
| 分类号 | C30B29/42;C30B35/00 | 分类 | - |
| 发明人 | 兰少东 | 申请（专利权）人 | 江苏中科晶元信息材料有限公司 |
| 代理机构 | 苏州市港澄专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 江苏中科晶元信息材料有限公司 |
| 地址 | 215600 江苏省苏州市张家港市塘桥镇（江苏张家港新能源产业园商城路）江苏中科晶元信息材料有限公司 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于砷化镓生产的热场装置，包括炉体、保温筒和石墨加热器，所述炉体内腔设置有保温筒，保温筒内壁设置有石墨加热器,石墨加热器内壁设置有坩埚，坩埚底部设置有坩埚托架，坩埚托架底部设置有坩埚托杆,所述保温筒顶端设置有导流筒，导流筒出口处位于坩埚内腔，所述保温筒底部设置有保温板，使用时，通过启动电机，使得收线轮转动，从而将绳索进行收紧，从而将保温筒升起，从而避免了动用人工将保温筒抬起，进而节省了大量人力物力，且有效的避免了对保温筒造成的损伤，提高了保温筒的使用寿命，通过设置的防漏板及密封圈,有效的避免了高温硅液泄漏接触热场其余组件。 |
