一种用于砷化镓生产的单晶炉保温筒夹具

基本信息

申请号 CN201921273098.2 申请日 -
公开(公告)号 CN210886318U 公开(公告)日 2020-06-30
申请公布号 CN210886318U 申请公布日 2020-06-30
分类号 C30B29/42(2006.01)I;C30B15/00(2006.01)I 分类 -
发明人 兰少东 申请(专利权)人 江苏中科晶元信息材料有限公司
代理机构 苏州市港澄专利代理事务所(普通合伙) 代理人 江苏中科晶元信息材料有限公司
地址 215600江苏省苏州市张家港市塘桥镇(江苏张家港新能源产业园商城路)江苏中科晶元信息材料有限公司
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种用于砷化镓生产的单晶炉保温筒夹具,包括圆板、夹紧装置、固定装置,所述夹紧装置包括方形柱、转轴、托块、螺纹杆一,方形柱内竖向设置转轴,转轴上端安装旋转块一,转轴下端安装伞齿轮一,方形柱靠近圆板中心位置的一端下部安装托块,托块内设置螺纹杆一,螺纹杆一外表面套设伞齿轮二,且伞齿轮二位于方形柱内,伞齿轮二与伞齿轮一相啮合,托块上端开设有滑动槽,螺纹杆一外表面套设内螺纹块,内螺纹块上端安装夹紧杆,本实用新型转动旋转块一通过转轴、伞齿轮一、伞齿轮二、螺纹杆一和内螺纹块传动,带动夹紧杆移动,使本装置能适应多种厚度不同的保温筒。