一种晶片加工机台的基座

基本信息

申请号 CN201921273094.4 申请日 -
公开(公告)号 CN210880360U 公开(公告)日 2020-06-30
申请公布号 CN210880360U 申请公布日 2020-06-30
分类号 B28D7/04(2006.01)I 分类 -
发明人 兰少东 申请(专利权)人 江苏中科晶元信息材料有限公司
代理机构 苏州市港澄专利代理事务所(普通合伙) 代理人 江苏中科晶元信息材料有限公司
地址 215600江苏省苏州市张家港市塘桥镇(江苏张家港新能源产业园商城路)江苏中科晶元信息材料有限公司
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种晶片加工机台的基座,包括基座,所述基座的竖直截面为上窄下宽的梯形,基座的上方两侧均设有支柱一,支柱一的上侧安装有外壳体,支柱一朝基座内侧设有电动伸缩杆,电动伸缩杆的活动杆顶部连接有卡块,卡块滑动连接有活动块,两活动块之间固定设有置物台,本实用新型结构简单,利用梯形支柱和基座将所受应力分散,加大活动块与卡块的接触面积,通过压力传感器精准控制对置物台的夹持状态,通孔和螺旋凹槽的设置可以充分利用气流的作用,维持加工过程中的环境稳定,降低加工过程中局部变化产生的影响。