一种机体内智能隔离和洁净设备
基本信息
| 申请号 | CN202020509037.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN211857177U | 公开（公告）日 | 2020-11-03 |
| 申请公布号 | CN211857177U | 申请公布日 | 2020-11-03 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 李占国;谭璜;徐建 | 申请（专利权）人 | 弥费科技（上海）股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京汇捷知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 弥费实业（上海）有限公司 |
| 地址 | 201306上海市浦东新区泥城镇秋山路1775弄3-4号1楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种机体内智能隔离和洁净设备，包括光刻机和电控柜，其特征在于，所述光刻机内部主要包括风刀部件和不锈钢管部件，电控柜内部分别设有配电模块、液晶显示屏和气控盒。本实用新型，目的是为了防止经常加载的晶圆传送盒会累积影响到光刻机机体内部的温湿度和微尘数量，提高芯片制程的良品率。本实用新型隔绝晶圆传送盒和晶圆片对光刻机机体内部温湿度和微尘累积的同时，还利用负压清洁打开门的晶圆传送盒清洁机械臂每次吸取的晶圆片上下外表面，还会清洁机体内部。 |
